環境信息公開報告

揚州晶新微電子有限公司

公司建設概況
      揚州晶新微電子有限公司成立于1998年底，位于揚州經濟技術開發區鴻大路29號，投資總額5000萬美元，注冊資金2963萬美元，
      公司專業從事半導體分立器件芯片的開發、設計、制造和銷售，并接受雙極型集成電路芯片的代工業務。公司擁有一支實力雄厚的專業技術團隊，已通過ISO9001：2000質量管理體系認證，并獲得中國電子元器件質量認證委員會頒發的《制造廠認可證書》。
      揚州晶新微電子有限公司廠區東側為呂橋河；南側為可瑞爾科技（揚州）有限公司；西側隔鴻大路為帝一集團電纜生產基地河北辰電氣；北側為中芯晶來集團。

公司建設情況表

環評意見及環評批復的意見
環評結論：
       揚州市環境科學研究所在《揚州晶新微電子有限公司Φ5〞芯片生產線項目環境影響報告書》中提出的主要結論如下：
1、 空氣環境影響預測評價結論
本項目排放氣體污染物對評價區空氣環境的影響輕微，在各種氣象條件下，氣體污染物排放不會對區域空氣環境質量產生明顯的影響。
2、 水環境影響預測評價結論
本項目廢水經過處理達到一級排放標準后通過開發區城市下水管網排入古運河，對水質的影響相對較小。
3、 噪聲環境影響預測評價結論
本項目布局較為合理，預測本項目新增的設備對廠界噪聲現狀影響不大。
4、固廢和廢液環境影響分析結論
   項目強化了廢物產生、收集、貯存各環節的管理，除杜絕固廢、廢液在廠區內的消失、滲漏外，生產中產生的廢液由蘇州瑞紅電子化學有限公司和江陰市化學試劑廠進行回收處置，并簽訂了委托合同，按這些廢物的處置工藝方案，不會再處置中對環境產生明顯的污染現象。

污染物的排放及防治措施
廢水排放及防治措施
本項目廠內排水系統采用“清污分流”和“雨污分流”體制：雨水經雨水管網收集后，排入區域雨水管網；
生產廢水送廠區污水處理裝置進行分質處理，處理達接管標準后與生活污水一并送六圩污水處理廠集中處理。
【廢水預處理工藝流程圖】
廢水分質處理工藝流程如下：

【廢水預處理工藝流程說明】
      高濃度含酸廢水由各工段收集后送入濃酸PH調節池，收集的濃酸PH在1~3之間，在濃酸PH調節池中加入氫氧化鈉對濃酸進行中和反應，將濃度廢水的PH值調節至≥4后，提升至綜合廢水調節池；
      含氨廢水、酸性漂洗廢水、酸堿性廢氣洗滌塔排水、特氣洗滌塔排水、有機漂洗廢水通過各自的收集管網收集后與調節過PH值后的濃酸廢水一并進入綜合廢水調節池。各股廢水在綜合調節池中均質后通過廢水提升泵進入反應攪拌池。
      反應池中，綜合廢水通過加入氫氧化鈉、氯化鈣后發生化學反應：
反應方程式如下：
F-+Ca2+=CaF2 ↓
SO42-+Ca2+=CaSO4 ↓
PO43-+ Ca2+=Ca3(PO4) 2↓
      廢水中的F-、SO42-與Ca2+反應生成氟化鈣、硫酸鈣后進入平流沉淀池沉淀，沉淀后的廢水進入調節池，回調PH后排放。
研磨廢水經研磨廢水管網收集后進入研磨廢水收集池，經過二級自然沉淀后至總排口排放。
本項目純水制備廢水直接至總排口排放。
【廠區污水預處理裝置設計能力及處理效果分析】
本項目綜合廢水處理裝置設計能力為30m3/d，研磨廢水處理能力為10m3/d。預計處理效果如下：

本項目污水經過污水預處理后，廢水中各污染物濃度均能滿足六圩污水處理廠的接管標準要求，排入市政污水管網。

污染物的排放及防治措施
廢氣排放及防治措施
      本項目廢氣主要有有機廢氣、酸堿性廢氣，建設方針對各種氣體特性設計了相應的廢氣治理措施.
【有機廢氣】
      本項目產生的有機廢氣主要來自于芯片清洗工序和光刻工序，其中芯片清洗廢氣中主要污染物為丙酮、乙醇，光刻廢氣中主要污染物為TVOC，各股有機廢氣通過有機廢氣收集系統集中收集后采用活性炭吸附系統處理，最終通過17.7m高排氣筒高空排放。
      有機廢氣的處理技術主要包括非破壞性（冷凝法、吸附法、吸收法）與破壞性（直燃式/觸媒式焚化法、生物法）處理技術等。根據本項目有機廢氣的特點，選用吸附法進行吸收處理。
      吸附法主要利用高孔隙率、高比表面積的吸附劑，利用物理性吸附（可逆反應）或化學性鍵結（不可逆反應）作用，將有機氣體分子自廢氣中分離，以達成凈化廢氣的目的。由于一般多采用物理性吸附，故隨操作時間之增加，吸附劑將逐漸趨于飽和現象，此時則須進行脫附再生或吸附劑更換工作。
      活性碳吸附系統對此類有機污染物的去除效率大于80%，本項目有機廢氣經有效處理后，有機廢氣中丙酮、乙醇、TVOC等污染因子的排放濃度和排放速率均遠小于相應的排放標準限值。
【酸堿性廢氣】
      本項目酸、堿性廢氣主要為酸洗產生的酸性廢氣HCl、氟化物、硫酸霧、磷酸霧，氨水清洗芯片產生的含氨廢氣，本項目酸堿廢氣通過酸堿廢氣收集系統集中收集后采用堿液淋洗塔吸收處理。
      本項目共設置兩個酸、堿性清洗車間和一個背面減薄后的酸洗車間，每個車間均設置了一套酸性廢氣收集及處理裝置，兩個酸、堿性清洗車間功能相同，清洗工作量一致。收集后的酸、堿性廢氣經堿液淋洗塔吸收處理后通過17.2m高排氣筒高空排放。
堿液淋洗塔的處理工藝如下：

      堿液淋洗塔塔吸收系統由廢氣吸收塔、排風機、噴淋裝置、吸收液供給裝置和排風管等組成。
      酸性廢氣采用酸堿中和的原理，利用堿性吸收液（NaOH水溶液）與酸性廢氣發生反應生成水和鹽，進而除去廢氣中的酸性氣體。吸收塔為填料塔，吸收液從后向前，與氣體流動方向相反，使得吸收液與廢氣充分接觸。
堿性廢氣（氨氣）利用其極易溶于水的原理，進行吸收。
      吸收塔體及內部構造物均采用耐腐蝕的PP材質制成，塔頂配置高效補液裝置使吸收液分布均勻 確保吸收效率；同時引風機引風量大于廢氣量的5倍以上，使吸收塔形成負壓，最大限度的控制廢氣的漏風，尾氣通過17.2m高排氣筒高空排放。
      降膜吸收的處理工藝屬于成熟的廢氣治理工藝，被廣泛的用于酸堿性廢氣的治理。根據同類裝置類比，稀堿液對HCl、HF等酸性廢氣的去除效果最高能達到90%以上。本項目保守按80%核算。
      經處理后，本項目廢氣中各污染物的排放濃度、速率遠遠小于相應的排放限值。吸收廢氣后排放的廢水匯入廢水預處理系統進行處理。污染防治措施可行。
排放及防治措施
噪聲及防治措施
      本項目的噪聲污染源主要為空壓機、風機和各種水泵等生產輔助設備，噪聲源聲級范圍為75～95dB(A)。
本項目噪聲源產生的噪聲具有下列特征：
    連續和穩態噪聲
      本項目生產是連續進行的，生產過程中產生的噪聲大多是連續的穩態噪聲，因此廠區的夜間和晝間環境噪聲相差不大。
    低、中頻為主的氣流噪聲
本項目產生的噪聲主要是機泵產生的中、高頻氣流噪聲，空壓機產生的低頻氣流噪聲，但由于高頻聲在傳播過程中衰減得比低頻聲快，所以從整體上講，本項目的噪聲以低、中頻氣流噪聲為主。
針對項目噪聲源的特點，建設方采取了以下噪聲防治措施：
    生產設備噪聲控制
合理布置噪聲源，將生產設備布置在廠房內，利用廠房進行隔聲。
 空壓機、風機噪聲控制
此類噪聲頻譜呈寬帶特性，一般由空氣動力性噪聲和機械噪聲組成，以空氣動力性噪聲為主�？諝鈩恿π栽肼曈尚�轉噪聲和渦流噪聲組成，主要從進氣口和排氣口輻射出來，機械噪聲主要從電動機及機殼和管壁輻射出來，通過基礎振動還會輻射固體噪聲。噪聲控制主要采用消聲器和隔聲及減振技術。
① 安裝消聲器：在進氣和排氣管道上安裝消聲器，，消聲器可使噪聲源強降低10dB(A)以上。
② 設置隔聲房：將空壓機和風機封閉在密閉的廠房內，并在基座下加裝隔振器，使從空壓機和風機機殼、管道、機座以及電動機等處輻射出的噪聲被隔離。
③ 管道包扎：為減弱從風管輻射出來的噪聲，用礦渣棉等材料對管道進行包扎，隔絕噪聲由此傳播的途徑。
 泵類噪聲控制
泵類設備噪聲主要來自液力系統和機械部件。液力噪聲是由液體中的空穴和液體排出時的壓力、流量的周期性脈動而產生的，機械噪聲是由轉動部件不平衡、軸承不良和部件共振產生的。一般情況下，液力噪聲是泵噪聲的主要成份。本項目通過設置隔聲罩和采用減振基礎的方式控制其噪聲。